1.废气 本项目产生的酸性废气经两级碱液喷淋处理后通过排气筒高空排放;干法刻蚀、离子注入等工序产生的废气经“两级电热水洗+两级碱液喷淋”处理后通过排气筒高空排放;碱性废气经两级酸液喷淋处理后通过排气筒高空排放;硅片有机洗、光刻、湿法去胶、金属剥离等工序产生的有机废气经三级活性炭吸附处理后通过排气筒高空排放;危废库产生的有机废气经二级活性炭吸附处理后通过排气筒高空排放。 2.废水 本项目生活污水经化粪池收集后排入蚌埠市第二污水处理厂进一步处理。酸碱废水、含氟废水、TMAH废水、有机废水、IPA废水、含镍废水、含铜废水等生产废水在车间分类收集后排入传感谷污水集中处理中心分质处理,处理后再进入第二污水处理厂进一步处理。 3.噪声 本项目通过选用低噪声设备,采取隔声、减振、消声等降噪措施减少噪声影响。实施噪声主动控制等措施后,应满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB(略)-(略))中3类标准。 4.固体废物 本项目一般工业固体废物为废包装材料、纯水制备系统废滤芯、废靶材、不合格产品、废锂电池等,其中纯水制备系统废滤芯由供应商定期更换回收,废锂电池由厂家上门更换并回收,其他一般固废暂存于一般固废库,定期交由物资回收部门处置。危险废物为有机废液、废盐酸、废碱液、废显影液、含氟废液等危废暂存于危废库,定期委托有资质单位处置。生活垃圾由当地环卫部门统一清运。 5.环境风险 本项目建成后环境风险物质包括盐酸、丙酮及废盐酸等。构成危险单元的风险场所为化学品库、危废库等。危废库设置导流沟,储罐间设置围堰,设置事故池;雨污水排放口设置截断阀;按照相关要求及时修订突发环境事件应急预案并定期演练。 |