测量原理:(略) 影像系统分辨率≥(略)×(略);光源为白光LED;物镜转塔为5孔电动。 物镜配置:(略) XY平台尺寸≥(略)×(略) mm,行程≥(略)×(略) mm,支持电动和手动控制,配备(略)°手动旋转盘;水平倾斜调整±3°。 Z轴电动聚焦行程≥(略) mm;Z向单次非拼接扫描范围≥(略) mm;纵向分辨率≤0.1 nm。 白光干涉模式形貌重复性≤0.1 nm;粗糙度RMS重复性≤0.(略) nm;台阶高度测量准确度≤0.5%、重复性≤0.1%。 支持单区域、多区域阵列、方形/圆形等自动拼接测量 支持编程测量、测量与分析同界面操作、批量分析、数据处理(位置调整、去噪、滤波、提取)和粗糙度/几何轮廓/结构/频率/功能分析。 支持Word、Excel、CSV、PDF格式报告导出,并可导出2D/3D图像、轮廓曲线和数值结果;中文界面,提供可离线使用的测量分析软件。 具备干涉条纹图像保存、任意点位光强曲线提取、信号分析和环境噪声评价功能,噪声评价分辨率达到0.1 nm。 具备气浮隔振或等效隔振方案;软件Z向限位和镜头碰撞回缩等双重防撞保护;具备光源无人值守休眠功能。 图形工作站:(略) 提供5 μm台阶高标准块、超光滑标准快、仪器配件箱、操作手柄、加压充气装置、显微3D测量软件、无油静压空压机、产品说明书、合格证、保修卡和整机检验报告。
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