1.1 执行机构单元:(略) 1.2 配套附件单元:(略) 1.3 机架单元:(略) 2.1 采用四轴机械臂,自由度为4; 2.2 1轴臂长为 (略) mm,2轴臂长为 (略) mm,臂展为 (略) mm;1 轴旋转角度为 ±(略)°;2 轴旋转角度为 ±(略)°;Z 轴行程为 (略) mm;负载≥ 5 kg;重复定位精度优于 ±0.(略) mm;线速度≥(略)mm/s;机械臂整机重量<(略)kg;支持碰撞检测与拖动示教; 2.3 夹具总行程≥ (略) mm;夹具加持力范围(略)~(略) N; 2.4 视觉模块像元尺寸为 1.(略) μm×1.(略) μm;分辨率为 (略)×(略);大帧率为 9.7 fps;曝光时间为 (略) μs~2 s; 2.5 吸盘治具驱动方式为电动;吸力范围 (略)~(略) N;吸嘴材质为软质硅胶或导电硅胶(防划伤、防 ESD); 3.1 线性电机单元:(略) 3.2.X轴行程≥(略)mm;Z轴行程≥(略)mm;中心口对位精度≥0.5mm; 3.3 Z 轴升降电机配电磁失电制动器(断电自锁),防止垂直负载意外下滑; 3.4 加工件为无磁材料,包括但不限于铝合金、SUS(略); 4.1 单次测试基片数量≥(略) 个,每片测试端数≥4端; 4.2接触样品的方式为线性电机驱动弹针主动下压; 4.3 可与Cryodev CPMS-9S冷箱型号对接; 5.1 系统应兼容 RS(略)、RS(略)、I/O、MQTT、TCP/IP、Modbus_TCP/RTU协议中的至少两种;系统具备与 LIMS/MES 系统、第三方设备及各组件进行数据交互的能力;系统支持使用边缘控制器进行控制; 5.2 电控系统,以动态资源优化为核心,通过多维度算法实现产线任务的智能编排与高效执行,并支持跨平台协作与全流程监控;采用B/S架构,可在 PC、平板终端无缝运行,实现多任务并行处理;集成智能排程引擎,可根据任务类型、设备状态及资源占用动态调整执行顺序;支持自动化预排程模式、优先级插入模式、AGV 调度、机械臂上下料、低温工位对接密封、分片收料产线工序编排及动态容错机制;提供拖拽式任务编排界面,实现任务进度与资源占用的直观展示; 5.3 系统应支持JSON/CSV实时数据流,数据内容须包含基片编号、时间戳、测试位点、温度、真空度、电导/电阻测量值、设备状态码与警报码;系统的命令响应时间应不大于1s;系统的链路时延应不大于(略)ms; 5.4 系统应具备故障日志自动上传功能;系统应提供远程诊断接口; 5.5 系统应提供图形化界面并支持拖拽式操作,用户可通过流程图、节点图方式直观设计实验步骤; 系统应提供镀膜上下料、低温对接密封、分片收料等预定义模板,以降低用户学习成本; 系统应支持节点类型变更操作,节点类型须包含操作节点(如镀膜上下料、低温对接密封、分片收料)、条件分支(如阈值判断)、循环控制; 5.6 系统的实时状态反馈刷新间隔应不大于5s。系统应可视化展示设备运行状态(如温度、真空度、动作节拍进度)及流程执行进度。系统应具备异常处理机制,支持预设中断条件(如超温报警),并可触发暂停、回退或通知操作员。 响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),如安装或配置了软件的,须为正版软件。
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