序号 | 项目 | 采购方要求值 | 应答方保证值 |
| *电子枪类型 | 高亮高相干性电子枪,束流、信号、长期稳定性不低于冷场发射电子枪 | |
| 电子枪亮度 | ≥3.3*(略)7A/m2/sr/V | |
| *TEM 线分辨率 | ≤(略) pm@(略)kV | |
| *STEM分辨率 | ≤(略) pm@(略)kV | |
| 能量分辨率 | ≤0.(略)eV | |
| *加速电压 | (略)-(略) kV | |
| #加速电压切换稳定时间 | ≤(略) min | |
| *高压合轴 | (略)/(略)、(略)、(略) kV | |
| #束斑漂移 | ≤0.5 nm/min | |
| *聚光镜像差校正器 | 校正至A5阶 | |
| *物镜像差校正器 | 校正至A5阶 | |
| STEM高分辨自动优化软件 | 自动修正残余像差 | |
| 物镜 | 采用恒功率透镜设计或Enoaqua循环水方式,实现透镜控温精度、有效束流。 | |
| 光阑系统 | 物镜光阑孔数目 | ≥8个 | |
| 选区光阑孔数目 | ≥4个 | |
| 挡针 | 配备全自动挡针 | |
| 洛伦兹模式 | TEM/STEM两个模式 | |
| #物镜极靴间距 | 适配于目前商用电镜样品杆 | |
| *STEM探测器附加探头功能 | ≥(略)分割 | |
| STEM探测器成像模式 | HAADF、BF、ABF、DF、ADF | |
| STEM模式图像像素 | 大图像分辨率≥(略)×(略) 像素((略) 万像素),支持 (略)×(略)、(略)×(略) 等多档像素可选 | |
| 双倾样品杆倾转角度 | ≥± (略)°(a) / ± (略)° (b) | |
| 三维重构样品杆大倾转角度 | ≥±(略)° | |
| 样品移动范围 | ≥X/Y:(略) | |
| 样品漂移速率 | ≤0.5 nm/min | |
| *一体化快速 CMOS相机 | (略)-(略)kV电压,4,(略)×4,(略)像素,(略) fps @ 4k*4k和(略) fps @ (略)*(略)读取速度 | |
| 相机读取模式 | 具备原位模式 | |
| 原位实验记录 | 支持(略)s缓存记忆功能 | |
| 能谱分析模块 | 能谱仪探测器数量 | ≥2个 | |
| *能谱仪探测器晶体面积 | ≥(略) mm2(不低于JED-(略)T (略)mm2双探头) | |
| 能谱图像分辨率 | 4k x 4k | |
| *能谱仪探测器能量分辨率 | ≤(略) eV (Mn-Kα) | |
| 能谱仪探测器大输出计数率 | ≥ (略) kcps | |
| 能量损失谱模块 | 能量过滤器电子能量损失谱 | 功能包括能量过滤透射电镜成像(EnergyFiltered TEM)和电子能量损失谱(EELS)分析。通过能量过滤,提高成像质量,尤其厚试样和断层成像(Tomography)的图像质量,分析材料的化学价态、电子结构、元素组成及其面分布等。 | |
| *能量过滤器电子能量损失谱型号 | 分辨率优于0.(略) eV,直接探测相机,EELS数据原位采集功能,(略)-(略) kV((略)/(略)/(略) kV合轴),Q-slit功能 | |
| #能量过滤器电子能量损失谱采谱速度 | (略)谱/秒 | |
| 超快直接电子探测相机 | 包含1套 | |
| *4D-STEM成像系统 | ≥(略) x (略) μm像素尺寸;≤(略)ps事件模式;1k x 1k采集<0.5s;≥ (略)fps @ 8bit帧模式;软件连续更新 | |
| Free Lens Control功能 | 样品任意高度下用户可以自由控制各级聚光镜电流,实现目标会聚角主动调节 | |
| 图像采集模块 | 连续自动化连续欠焦,欠焦变化时间≤0.1s | |
| *电镜样品杆 | 单、双倾样品杆(各1支) | |
| *电子束超快定量控制系统 | 对STEM及TEM模式进行自动化电子束脉冲控制、定量调节、超快电子束闸时间分辨率≤(略) ns | |
| 原位实验保护镜筒污染 | 具有镜筒内置自动烘烤功能,可全范围去除镜筒污染 具有冷井烘烤(ACD/CryoCircle)功能 具有编程设置Beam Shower清洗功能 | |
| STEM事件驱动模组 | 支持 | |
| 自动带轴倾转软件 | 支持 | |
| Autoscript数据采集和分析模块 | 可以通过Python语言编程实现透射自动功能:(略) | |
| 新一代电镜软件及硬件控制系统;(velox及同等以上);可实现快速操作,包括光学模式设置、探测器选择以及数据采集和分析等等,可以同时快速获取多达 4 个 STEM 信号 | |
| 2套图像显示终端,能流畅地实现常用功能,包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示 | |
| 提供TEM和STEM三维重构全套相关软件及离线数据处理软件 | |
| 提供EDS采集、分析相关软件及离线数据处理软件 | |
| #杆泵 | 干泵大抽速3m3/h,极限真空度0.1 mbar | |
| 离子清洗模块 | 等离子清洗仪,功率 0-(略)W 连续可调 | |
| 数据存储工作站 | 机柜:(略) | |
| 空压模块 | 配有压力计、控制阀、压力开关、进气阀和安全阀。 功耗≤0.(略)kW | |
| 冷却循环水模块 | 空气增强型冷却器 | |
| #原位电镜样品杆 | 冷冻三维重构原位电镜样品杆(1支) | |